最初的制氧装置采用的吸附剂为caa分子筛吸附剂，工艺为psa工艺，从最初的20m3/h、50m3/h和100m3/h开始到20世纪90年代末期我国变压吸附制氧最大规模也只有1 000m3/h，纯氧电耗达到0.5 kw·h/m3以上。国产变压吸附制氧装置发展初期的部分产品存在罗茨鼓风机噪声大、故障率高、切换阀门故障特别高以及分子筛易粉末化等一系列问题。不少企业特别是钢铁行业的企业基于短平快的特点开始使用变压吸附psa制氧设备，但因设备维护工作量大、维护成本高而弃用并重新使用深冷分离设备，给大家留下了设备无法长期运行、维护量太大、不能大型化的负面影响，与同期国际先进水平的差距明显。