合肥科晶otf-333体育手机版

等离子发射源

输出功率：5 -500w    ± 1% .     

射频频率：13.56 mhz    ±0.005% . 

反射功率： 最大 200w  

匹配： 自动 

射频接口：50 ω, n-type

噪音：<50 db.   

冷却：风冷.

电源：ac 208-240v, 50/60hz

无油真空泵机组

pfeiffer（德国）高速( 226l/min) 无油干泵, 极限真空10e-3 torr l

kfd25 快接，不锈钢波纹管，手动挡板阀与法兰，真空泵相连

管内真空可达10e-2 torr 

数字真空计 ( 美国) 安装在左法兰上. 

可选法兰：本公司生产的带铰链式法兰

本公司进口的防腐型数字式真空显示计，其测量范围为3.8x10-5 至 1125 torr. 不需因测量气体种类不同而需要系数转换。

质量流量计

四个精密的质量流量计(精度0.02% ) ：数字显示，自动控制.

mfc 1范围:  0~100 sccm 

mfc 2和3:    0~200 sccm  

mfc 4范围:   0~500 sccm 

一个混气罐，底部装有泄废液口. 

一个不锈钢针阀安装在供气系统的左侧，可手动控制4种气体.

进气口: 4个1/4nps.

出气口: 4个 1/4nps.

控温软件

计算机可以通过控温软件控制炉子：rs485 接口和软件是免费的，但需要购买数据线和一个控制模块

为了获得较大的升温速度, 必须预热到设定温度，然后将炉子滑到样品位置。

为了获得较快的降温速度,可将加热的炉子从热区滑到冷区.

升温速率：

15°c/sec (rt - 150°c);10°c/sec (150°c - 250°c);7°c/sec (250°c - 350°c);4°c/sec (350°c - 500°c);3°c/sec (350°c - 550°c);2°c/sec (550°c - 650°c);1°c/sec (650°c - 800°c);0.5°c/sec (800°c - 1000°c);

冷却速率：

15°c/sec (1000 - 950°c);10°c/sec (950°c - 900°c);7°c/sec (900°c - 850°c);4°c/sec (850°c - 750°c);2°c/sec (750°c --600°c);1.5°c/sec (600°c - 500°c);1°c/sec (500°c - 400°c);0.5°c/sec (400°c - 300°c);

水循环冷却器

水冷法兰要求：水流量 >= 10l/m . 可以用自来水进行水冷,

为了节约水资源，我们建议使用水循环冷却器。

炉体: 550 x 380 x 520  mm  

滑轨:   1750 mm 长 

移动架: 1200 x 1200 x 600mm.  

净重: 220 lbs. 

运输重量: 500lbs.